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          或者

          西安太康生物科技有限公司

          檢測認證人脈交流通訊錄

          薄膜制備小型磁控濺射儀

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            • 一、產品應用: JS-600M薄膜制備小型磁控濺射儀采用二極(DC)直流濺射原理設計,帶磁控靶頭,有水冷功能。設備操作簡單方便,適用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備,非導體材料實驗電極的制作。 磁控濺射為冷濺射,對樣品表面的升溫較低,適用對溫度較敏感的薄膜樣品。用戶可以根據自己的需要自行選擇不同的真空條件,濺射電流。大尺寸的真空腔體設計,滿足大樣品的濺射需求。標配一片金靶,純度為99.999%,為獲得高質量的金膜提供了良好的基礎。 二、JS-600M薄膜制備小型磁控濺射儀配置及技術指標: 1.本系統裝配了水冷卻磁控靶,靶面直徑為50mm; 2.主機規格:L360mm*W300mm*H380mm; 3.靶(上部電極):金:直徑:50mm,厚度:0.1mm; 4.真空樣品室:直徑:160mm,高:110mm; 5.濺射面積:Ф50mm; 6.工作真空:2×10-1—6×10-2 mbar; 7.離子電流表:0-100mA; 8.定時器:根據濺射習慣設定單次濺射時間; 9.針閥: 配有進氣口,微量充氣調節,可連接φ4*2.5mm軟管; 10.工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣等多種氣體; 11.濺射電壓:-1600 DCV; 12.飛躍真空泵(VRD-4):1.1L/S。 三、產品特點: 1.輕便、濺射面積大; 2.可以濺射鉑、金及銀等金屬; 3.濺射效率高,可水冷降溫; 備注:JS-600M小型磁控濺射儀可適用的靶材:金、鉑、銀。 了解更多:http://www.saintins.com/Products-37429978.html https://www.chem17.com/st538609/erlist_2401778.html

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